浮胶是显影或腐蚀过程中常出现的一种不良现像，也是影响较为严重的一种光刻弊病。

显影时产生的浮胶

       在显影时，玻璃表面的胶膜皱起呈桔皮状或胶膜大片剥离。产生这一现像，说明胶膜与玻璃表面ITO层粘附不好，得认真找出原因。同时，出现问题的玻璃得返工。

显影时出现浮胶的原因一般有：

      1）涂胶前玻璃表面清洁处理不当，表面有油污，不汽等，或玻璃清洁后在空气中放置时间过长，空气中的水汽附在玻璃表面上;或者涂膜操作环境湿度太大，使胶与玻璃表面粘附不良。因此，得注意做好玻璃表面清洁处理和操作的环境的温，湿度及清洁工作。

      2）光刻胶配制有误或胶陈旧不纯，胶的光化学反应性能不好，使胶与ITO层成健能力差，或者胶膜不均匀和过厚，引起粘附不良。

       3）前烘时间不足或过度。烘焙不足，胶膜内溶剂不能及时挥发，显影时部分胶膜被溶除;烘焙过度，胶膜翘曲硬化，胶的感光特性会发生变化。所以前烘得恰当。

      4）曝光不足，光硬化反应不彻底，胶膜溶于显影液中，引起浮胶。因此在保证分辨率的前提下，曝光要充分。

      5）显影时间太长，显影液从胶膜底部不断渗入，引起胶膜浮起。因此得控制好显影时间。

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